主要通過擦拭布的材質(zhì)、吸收率、潔凈度和費用來評估無塵布。在半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室中,對無塵擦拭布的塵粒、離子、ESD等有很高的要求。專業(yè)的無塵布需進行嚴格的測試以達到性能要求和污染控制標(biāo)準(zhǔn),一般無塵布需進行這些測試:
一、抗磨損性測試:測試無塵布單位面積的重量,一般要求在150-300克/平米
二、吸液量和吸液速度測試:吸液量一般不小于400克/平米,吸液速度一般不大于1秒
三、IC測試:定性定量地測量無機陰陽離子含量
四、NVR測試:測試單位面積上的不揮發(fā)性殘留物
五、LPC測試:可是無塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)
六、FTIR測試:傅立葉變化紅外線光譜測試
七、GC測試:分析無塵布上有機污染物種類和含量。